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第23章 极紫外光源设备（第2页）

“当锡滴被激光轰击后，迅速汽化并形成高温等离子体，在这过程中，锡原子被高度电离，形成锡离子（+8到+14价态），并产生共振跃迁，释放出波长为13.5纳米的极紫外光。”

“由于极紫外光的波长非常短，咱们使用特殊的镜子，这些镜子是由金属钼和硅交替排列的多层结构制成，每层的厚度仅为几纳米，以确保极紫外光能够被有效反射。”

“然后就得到了极紫外光。”

“我共计做了三十三套设备。”

“虽然目前还不能确定失败的最终原因，但是也能预估个大概，可能是镜片问题造成的。”

“这些镜片是多层结构，每层仅仅几纳米，我估计可能是研磨平整度不够，导致光源在反射过程中有偏差，这样筛选出来的波长，就不能控制在有效范围内。”

“目前只有两套成功。”

林浩听完就笑着点点头。

他不知道国外是怎么做这种极紫外光源的，成功率又是多少，每套光刻机只要1个这种设备，现在他都造两个了，这还有什么好担心的呢？

于是就笑着说道：

“徐晴，你做的很好，再继续多做几个，这块咱们就结束掉，进入下个环节。”

“林总，这个失败率太高，意味着成本极高。”

徐晴想找原因，这是科研人员的通病，什么事情都想尽善尽美。

林浩微笑起来。

他又不指望卖光刻机。

成不高就高些，有什么好担心的呢？不过看到徐晴的样子，还是问道：

“咱们现在单套成本是多少？”

徐晴在沉寂思考中。

然后抬头说道：

“每套大概要1600多万吧，主要是咱们的成功率太低了，连10%都没达到啊。”

“额......”

林浩皱起眉头，只是个极紫外光源而已，在整个光刻机的设备中，真的只是极小部分，不过这是核心部件，唉，成本高就高吧，随即他就笑着说道：

“我多给你几天时间，再制造4套这种光源设备出来，咱们也不指望卖它，成本高就高吧。”

“好的，林总。”

徐晴笑着应下，稍微停留两秒，她继续补充道：

“林总，如果现在的成本能够接受，咱们的设备都还算齐全，我三天就能完成的。”

“嗯？不，你不要疯狂加班了，女孩子，应该多休息的，你下边不是招聘到几个人的吗？他们能不能做这些？让他们去做，你负责领导他们就好啦。”

林浩说完就笑了起来。

徐晴连忙反击：

“林总，他们都被我安排去研究碳晶圆啦，只有我时间充足，你放心吧，我能做好的。”

“嗯，那你也要多休息的。”

林浩能够感受到真诚，他看着徐晴也不知道该说什么，人家主动加班又没啥错。

“好的。”

徐晴嘴角露出微笑。

林浩听到徐晴说起碳晶圆，随即就笑着问道：

“碳晶圆如何了？”

“还没有任何头绪呢，目前正在疯狂的实验，都是瞎试的，光实验就做了数千组，仍然没找到方向。”

说到碳晶圆，徐晴的情绪瞬间就低落下来，她感觉自己下面的人，就是在瞎折腾。

林浩听着也皱起眉头。

接着就问道：