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第23章 极紫外光源设备（第3页）

“目前都尝试了哪些方法？”

“林总，我们目前正在尝试的，是生产各种碳的化合物，希望可以以此实现目标。”

，徐晴立即回应。

“哦，那单质碳和碳晶的掺杂物尝试过吗？”

，林浩思考之后问道。

“有的，但是并不理想。”

徐晴最初尝试的就是这种方法。

林浩也有些头疼。

按说，全球都在研究碳基，想用碳基取代硅基，他研究不出来，也是理所当然的。

但是总感觉失败的滋味不好受。

他皱起眉头。

随即就坐着静止不动，眼睛不眨，大脑却在高速运转，凭借直觉，林浩认为单质碳和碳晶掺杂物，是可以形成半导体的，如果不能做成半导体，就不能形成p-N结。

几分钟以后。

林浩盯着徐晴问道：

“单质碳和碳晶的掺杂，你是怎么做的？”

“林总，不是把这两种物质，研磨成细小颗粒，然后再熔融成柱状物吗？”

徐晴被问愣住了，她红着脸说出之前的做法。

“研磨成细小颗粒？你能研磨到多细小？”

林浩有些好笑，要知道，芯片的材料可是纳米级别的，研磨怎么能达到要求呢？就算研磨到纳米级，掺杂起来仍然不会均匀的，除非......

徐晴的脸更红了。

半天没说话。

过了好久，她才看着林浩问道：

“林总，那要怎么做？”

林浩继续在思考。

他刚才其实已经有了思路。

接着就稍微酝酿下，然后正色道：

“徐晴，还记得咱们在碳纳米球碳晶制造的过程吗？在生成碳晶前（这时碳晶还是液态），我们需要在这个时候添加纳米级的单质碳，这样做可以做到充分掺杂，而且保证纯度。”

“还要在无尘环境下操作。”

林浩继续补充，给出了他认为最有可能的方法，至于最后能不能成功，仍然是个未知数，这太难了。

徐晴也在思考。

稍后就说道：

“林总，我可以重新做的，只是，现在咱们的碳晶制造设备，已经被挪移到1号厂房了，那边没有无尘环境，而且单质碳的提纯，也需要相关设备，还有你说的纳米级研磨也需要设备的。”

“嗯，设备我来想办法，无尘环境就用6号厂房，这两天我会弄好的，你就按照我说的，要多次尝试，寻找合适的掺杂比例，做出能用的半导体材料，碳晶圆。”

林浩是有伊娃帮助的，制造这些设备并不太困难。

徐晴默默地记下。

能博士毕业的，基本上都能算学霸，至少也是个小学霸，林浩说的掺杂流程，还有让她注意的掺杂比例，这需要不停的多次实验，甚至是大量的实验。

不过这有什么关系呢？

多花时间就行。

......